惡臭廢氣處理設備的工作機理是采用微波場激發無極燈，從而產生高強的紫外線，這種紫外線是目前工業UV/O3紫外燈中劑量和能量*大的紫外線，它可以在*短的時間內裂解硫化氫，氨氣等鍵能小於880kJ/mol的分子鍵。一般情況下，光解的時間是大於1秒的，無極燈紫外線同樣能裂解自然界中相對比較穩定的氮氮叁鍵。無極燈紫外線光解氧氣產生臭氧，臭氧能快速氧化金屬性較強的汙染物，臭氧量可根據汙染物的濃度以及後續反應時間設定。